國產(chǎn)首臺28納米關鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設備出機
來源： 無錫發(fā)布
2025-08-16 15:04:00
8月15日，國產(chǎn)首臺28納米關鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設備在錫成功出機。無錫市委書記杜小剛，中國工程院院士丁文江、莊松林、董紹明，中國科學院院士張澤共同出席出機儀式。新吳區(qū)主要負責同志，相關高校、企業(yè)、投資機構代表等參加活動。
電子束晶圓量檢測設備是芯片制造領域除光刻機外，技術難度最大、重要程度最高的設備之一。
此次出機的28納米關鍵尺寸電子束量測量產(chǎn)設備，由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制，在電子光學系統(tǒng)、運動平臺、電子電路和軟件等方向實現(xiàn)了完全自研，能有效解決我國半導體量檢測領域關鍵核心難題，對于填補我國集成電路產(chǎn)業(yè)關鍵環(huán)節(jié)空白、提高國產(chǎn)芯片高端裝備自主可控水平具有里程碑意義。
在當天活動現(xiàn)場，亙芯悅科技、上海交通大學自動化與感知學院合作共建的電子光學AI平臺聯(lián)合實驗室同步揭牌，雙方將攜手在技術創(chuàng)新、產(chǎn)業(yè)應用、科技人才培養(yǎng)等領域開展全面合作，通過貫通“理論突破—工藝驗證—產(chǎn)線落地”全鏈條，為后續(xù)設備創(chuàng)新研發(fā)注入新動能。
活動前，無錫市領導和嘉賓一同調研亙芯悅電子束量檢測設備生產(chǎn)線，詳細了解企業(yè)發(fā)展歷程、人才團隊、技術路徑、核心設備等情況。
無錫作為全國第二個集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值過千億元的城市，近年來創(chuàng)新出臺集成電路高質量發(fā)展36條措施，設立總規(guī)模50億元的江蘇無錫集成電路產(chǎn)業(yè)專項基金，吸引國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金在錫投資超百億元，先后獲批國家集成電路設計無錫產(chǎn)業(yè)化基地、國家微電子高新技術產(chǎn)業(yè)基地、國家集成電路特色工藝及封裝測試創(chuàng)新中心。
去年，全市集成電路規(guī)上企業(yè)實現(xiàn)產(chǎn)值2512億元、同比增長9.3%；入選中國獨角獸企業(yè)名單新增數(shù)量全省第一、且均為集成電路領域企業(yè)。今年1-6月，全市集成電路規(guī)上企業(yè)實現(xiàn)產(chǎn)值1315億元，同比增長14.2%。
來源：無錫日報